These are our business.
Our business is
我々の仕事内容をご紹介しようと思いました。
しかし・・・
企業機密があまりにも多く掲載できることがほとんどありませんでした。
Slit coater（スリットコーター）
スリットコーターとは、スリットノズル式塗布装置とも呼ばれ、スライドする帯状のノズル（スリットノズル）からレジスト塗液を直径数十マイクロのノズルから吐出することで、ガラス基板・樹脂基板・フィルム・金属箔などへ均一に塗布する装置です。液晶ディスプレイ製造、半導体分野の製造などに使用されています。
株式会社BITでは、各種メーカー様毎の個別仕様のスリットコーターの設計、製造を承っております。
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ランニングコスト低減
薬液使用量を大幅に削減できるよう設計したスリットコーターです。 -
省スペース、メンテナンス性向上
オリジナル構想のコンパクト設計により、フットプリントが小さくなります。
また、ノズル脱着が簡単で、メンテナンス性を高めています。 -
自動搬送対応
ロボットやコンベアを用いた自動搬送化に対応しています（オプション）。 -
ワイヤーリフト
従来の上下ピン搬送式のスリットコーターでは、高速上昇による基板破損が懸念され、搬送速度の高速化が困難でしたが、ワイヤーリフトにより、リフトアップ動作時間の大幅短縮が可能になります。 特に薄型ガラス基板では、ワイヤーリフトの性能が発揮されます。 -
ノズル洗浄機能
ノズル先端の汚れ除去機能を備えています。 -
研究開発用途に適した小型のスリットコーターをラインアップ
基本仕様
| モデル | 量産向けスリットコーター | 研究開発向けスリットコーター |
|---|---|---|
| ワーク | ガラス基板、金属板、フィルム | |
| サイズ （Max.） | W370～400mm L470～500mm（±0.1mm） | W150～300mm L150～300mm（±0.1mm） |
| 厚み | 0.3～2.0mm ±0.05mm（ 最大厚さ 2.0mm） | |
| 適合レジスト | ネガレジスト、ポジレジスト、Ag（特殊ノズル） | |
| 粘度 | 1～200cps（ご相談ください） | |
散布仕様
| 膜厚 | 0.5~10μm（Dry）｜10~100μm（Wet） | |
|---|---|---|
| 塗布エリア | 基板端面から2mm内側 | |
| 塗布精度 | ±5%（塗布端面から10mm内側） | |
外形寸法
【量産向けスリットコーター】
【研究開発向けスリットコーター】
※ 製品改良のため、仕様および外観の一部を予告なく変更する場合があります。
Past Projects
その他、ご紹介できる範囲で各種メーカー様からのご依頼で今までに製造、製作した製品をご紹介いたします。
※ 画像をクリックすると製品の説明が表示されます。
